截至8月3日收盤，光刻機概念下跌2.67%，在概念板塊跌幅榜中名列前茅。板塊內，富創精密、江豐電子、珂瑪科技等股票跌幅較大，而聯合化學、華辰裝備、電科數字則表現較好，分別上漲了3.29%、2.51%和2.48%。

從資金面來看，當日光刻機概念板塊主力資金凈流出16.47億元。其中，江豐電子、富創精密、中船特氣、大族激光等個股的資金凈流出額較大，分別為4.91億元、2.99億元、1.85億元和1.50億元。相比之下，炬光科技、強瑞技術、騰景科技等股票則獲得了較多的主力資金流入，分別凈流入2.00億元、4000.94萬元和2883.49萬元。

股市有風險，投資需謹慎。